THIN-FILM PIEZOELECTRIC RESONATOR AND FILTER CIRCUIT

• Main Authors: ITAYA, KAZUHIKO, YASUMOTO, TAKAAKI, SANO, KENYA, YANASE, NAOKO, OHARA, RYOICHI
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 01.03.2007
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

A thin-film piezoelectric resonator includes: a lower electrode (11) provided on the principal surface of the substrate (10) so as to cover the cavity (14); a piezoelectric film (12) provided on the lower electrode (11) so as to be located above the cavity (14); and an upper electrode (13). The upper electrode (13) has a main portion (13a) which overlaps a part of the cavity (14), a protruding portion (13b) connected on one side to the main portion (13), a connecting portion (13c) provided at the opposite side of the main portion (13), and an extension portion (13d) connected to the connecting portion (13c). The length of the protruding portion (13b) is substantially the same as the length of the connecting portion (13c), so that the overlap area of the upper (13) and lower (11) electrodes outside the cavity region is constant with respect to a shift of the cavity (14) location. As a result, the total sum of the parasitic capacitances in the upper (13) and lower (11) electrodes facing each other outside the cavity (14) does not vary with a shift of the cavity (14) location. Le résonateur piézoélectrique à couche mince selon l'invention comprend : une électrode inférieure (11) disposée sur la surface principale d'un substrat (10) de façon à recouvrir la cavité (14) ; une pellicule piézoélectrique (12) disposée sur l'électrode inférieure (11) de façon à être située au-dessus de la cavité (14) ; et une électrode supérieure (13). L'électrode supérieure (13) comporte une portion principale (13a) qui chevauche une partie de la cavité (14), une portion protubérante (13b) connectée sur un côté de la portion principale (13), une portion de connexion (13c) disposée sur le côté opposé de la portion principale (13), et une portion d'extension (13d) connectée à la portion de connexion (13c). La longueur de la portion protubérante (13b) est sensiblement la même que la longueur de la portion de connexion (13c), de sorte que l'aire de chevauchement des électrodes supérieure (13) et inférieure (11) à l'extérieur de la zone de cavité est constante en ce qui concerne un décalage de la position de la cavité (14). Par conséquent, la somme totale des capacités parasites dans les électrodes supérieure (13) et inférieure (11) se faisant face à l'extérieur de la cavité (14) ne varie pas avec un décalage de la position de la cavité (14).