ULTRAVIOLET LAMP AND ULTRAVIOLET IRRADIATION DEVICE

This invention is related to an ultraviolet lamp, particularly to an excimer lamp. Specifically disclosed is an excimer lamp (1) comprising a discharge tube (2) having a double-tube structure composed of an outer tube (3) made of a quartz glass and an inner tube (4) made of a quartz glass, a first e...

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Main Authors HATASE, KAZUYA, KANAMORI, YOSHINORI
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 01.02.2007
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Summary:This invention is related to an ultraviolet lamp, particularly to an excimer lamp. Specifically disclosed is an excimer lamp (1) comprising a discharge tube (2) having a double-tube structure composed of an outer tube (3) made of a quartz glass and an inner tube (4) made of a quartz glass, a first electrode (8) arranged on the outer surface of the outer tube, and a second electrode (9) inserted in the inner tube. The outer tube has a curved surface portion (5), a rounded corner portion (5A) and a flat portion (6). The first electrode is made of aluminum and also serves as an ultraviolet reflective surface. Since this excimer lamp discharge tube has the curved surface portion and the rounded corner portion, it hardly cracks when it is applied with the pressure of the atmosphere or internal gas. In addition, the irradiation efficiency of ultraviolet light can be improved since the discharge tube has the flat portion. La présente invention concerne une lampe ultraviolette, en particulier une lampe à excimère. La présente invention concerne plus spécifiquement une lampe à excimère (1) comportant un tube à décharge (2) comprenant une structure à double tube composée d'un tube externe (3) fait d'un verre de quartz et un tube interne (4) fait d'un verre de quartz, une première électrode (8) disposée sur la surface externe du tube externe, et une seconde électrode (9) insérée dans le tube interne. Le tube externe comprend une partie de surface incurvée (5), une partie en coin arrondi (5A) et une partie plate (6). La première électrode est faite d'aluminium et sert également de surface réfléchissant les ultraviolets. Étant donné que ce tube à décharge de lampe à excimère comprend la partie de surface incurvée et la partie en coin arrondi, il se fissure difficilement lorsqu'il subit la pression atmosphérique ou la pression du gaz interne. En outre, l'efficacité du rayonnement de la lumière ultraviolette peut être améliorée puisque le tube de décharge comprend la partie plate.
Bibliography:Application Number: WO2006JP315009