A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS WITH A PASSIVE SUBSTRATE GRIPPER

• Main Authors: WADENSWEILER, RALPH, M, KO, ALEXANDER, S, ENDO, RICK, R
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 04.01.2007
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONVEYING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS,CABLES; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; STORING; TRANSPORTING

According to one aspect of the present invention, a passive substrate gripper, including first and second segments, is provided. The second segment may be connected to the first segment, and the first and second segments may jointly form a substrate support. The substrate support may be shaped to support a substrate in first position within the substrate support when the substrate support is in a first angular orientation. The substrate may be removable from substrate support in a first direction when in the first position. The substrate may move into a second position when the substrate support is moved into a second angular orientation. The substrate may not be removable in the first direction when in the second position within the substrate support. The passive substrate gripper may also include a support ledge extending from opposing inner surfaces of the first and second segments, on which the substrate is supported. L'invention porte selon l'un de ses aspects sur un préhenseur passif de substrats comprenant un premier et un deuxième segment. Le deuxième segment peut être relié au premier et le premier et le deuxième segment peuvent former un support de substrat. La forme du support permet lorsqu'il est dans une première orientation angulaire de placer le substrat dans une première position. Le substrat peut être retiré du support dans une première direction lorsqu'il est dans cette première position. Le substrat peut prendre une deuxième position lorsque le support est dans une deuxième orientation angulaire. Le substrat ne peut prendre une deuxième position lorsque le support est dans une deuxième orientation angulaire. Le substrat ne peut pas être retiré du support dans la première direction lorsqu'il est dans cette deuxième position. Le préhenseur passif de substrats peut également comporter un appui s'étendant depuis les surfaces intérieures opposées du premier et du deuxième segment sur lesquels repose le substrat.