MAGNETIC GUIDING APPARATUS, STAGE APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

• Main Authors: TAKAIWA, HIROAKI, ONO, KAZUYA, TANIMURA, HISASHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 29.06.2006
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; DYNAMO-ELECTRIC MACHINES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; GENERATION; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

A magnetic guiding apparatus (100) is provided with a guiding member (110) having a guiding plane (111) provided along a first direction, and a facing plane (121) which faces the guiding plane (111) at a distance from the guiding plane (111). Magnetic attraction is permitted to operate between the guiding plane (111) and the facing plane (121), and while controlling movement to a second direction, which orthogonally intersects with a first direction and is parallel to the guiding plane (111), a mobile body (120) is moved along the first direction. On the guiding plane (111), a first groove section (112) is formed along the first direction, and on the facing plane (121), a second groove section (122) is formed along the first direction so as to face the first groove section (112). L'invention concerne un appareil de guidage magnétique (100) doté d'un élément de guidage (110) comportant un plan de guidage (111) formé dans une première direction, et un plan en regard (121) formé en regard et à une certaine distance du plan de guidage (111). Une attraction magnétique s'exerce entre le plan de guidage (111) et le plan en regard (121). Simultanément à un déplacement modulé dans une deuxième direction qui coupe orthogonalement une première direction et qui est parallèle au plan de guidage (111), un corps mobile (120) est déplacé dans la première direction. Une première partie rainurée (112) est formée sur le plan de guidage (111) dans la première direction, et une deuxième partie rainurée (122) est formée sur le plan en regard (121) dans la première direction de façon à être en regard de la première partie rainurée (112).