SYSTEMS AND METHODS FOR MEASURING SAMPLE SURFACE FLATNESS OF CONTINUOUSLY MOVING SAMPLES

• Main Authors: ZWEMER, DIRK, ADRIAN, PAN, JIAHUI, MCCARRON, SEAN, PATRICK, PETRICCIONE, GREGORY, JAMES
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 27.04.2006
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

Measurement of sample surface flatness of a continuously moving sample. A conveyor continuously conveys a sample beneath a grating disposed at a non zero angle with respect to the plane of conveyance. The relative distance between the sample and the angled grating changes with the horizontal translation of the sample. A camera disposed above the sample and the grating captures, at constant time intervals, a sequence of images, each image comprising a shadow moiré fringe pattern that is indicative of the sample's surface flatness. The continuous change in relative distance between the sample and the grating introduces a known or unknown phase step between the shadow moiré fringe patterns of each successive image. A computer associated with the camera processes the images to determine phase values of pixels at, and the relative height of the sample surface at, selected pixel locations of the sample. L'invention porte sur un système et un procédé de mesure de la planéité de surface d'un échantillon en mouvement continu. Un transporteur achemine continûment un échantillon placé sous un réseau situé au niveau d'un angle non nul par rapport au plan de transport. La distance relative entre l'échantillon et le réseau en angle change avec le déplacement horizontal de l' échantillon. Une caméra placée au-dessus de l'échantillon et du réseau capture, à intervalles de temps réguliers, une séquence d'images, chaque image comprenant un diagramme à franges moirées indicatif de la planéité de surface de l'échantillon. Le changement continu de la distance relative entre l'échantillon et le réseau introduit une étape de phase connue ou inconnue entre les diagrammes à franges moirées de chaque image successive. Un ordinateur relié à la caméra traite les images afin de déterminer des valeurs de phase de pixels ainsi que la hauteur relative de la surface de l'échantillon au niveau d'emplacements de pixels sélectionnés de l'échantillon.