APPARATUS AND PROCESS FOR DETECTING INCLUSIONS

• Main Authors: SHUSTACK, PAUL, J, FLADD, DAVID, R, JENNE, DAVID, C, CYR, DAVID, G, NIEBER, ALBERT, R, RUSSO, NIKKI, J, DAIGLER, CHRISTOPHER, P
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 08.12.2005
• Edition: 7
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Disclosed are process and apparatus for inspecting internal inclusions in internally transmissive substrates. The process involves applying a black coating to one major surface of the substrate, submerging the substrate in a refractive index-matching fluid, and scanning the substrate with a collimated light beam. The scattered light signals produced by the inclusions can be detected by the human eye or by using a light detector. By the use of index-matching fluid and the black coating, the signal-to-noise ratio of the process and apparatus are enhanced. A preferred black coating is one cured from an electron beam or photo polymerizable coating composition applied to the major surface. The process and apparatus are particularly suitable for inspecting internal inclusions in an internally transmissive substrate having considerable amount of surface defects or contoured surface that prevent it from inspection in a gas medium. L'invention concerne un dispositif et un procédé pour l'inspection d'inclusions internes dans des substrats à transmission interne : application de revêtement noir à une surface majeure du substrat, immersion dans un fluide adaptateur d'indice de réfraction, et exploration par faisceau collimaté. Les signaux de lumière dispersée produits par les inclusions peuvent être détectés par l'oeil humain ou par un détecteur lumineux. Le fluide et le revêtement considérés permettent d'améliorer le rapport signal-bruit pour le procédé et le dispositif. De préférence, le revêtement est durci à partir d'une composition de revêtement polymérisable par faisceau électronique ou photopolymérisable appliquée à la surface majeure. Le procédé et le dispositif sont particulièrement appropriés pour l inspection d'inclusions internes dans le type de substrat visé ayant beaucoup de défauts de surface ou une surface profilée empêchant l'inspection dans un milieu gazeux.