FLUID CONTROLLER

• Main Authors: KOYOMOGI, MUTSUNORI, TAKEUCHI, KAZUAKI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 17.11.2005
• Edition: 7
• Subjects: BLASTING; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES; STORING OF DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS; WEAPONS

A fluid introducing section (10) comprises first to n-th lower stage passage blocks (12A, 12) arranged in one row, first to (n-1)th upper stage passage blocks (13, 13A, 13B) arranged across two adjacent lower stage passage blocks (12A, 12), process gas introduction piping (14) connected to the inlet port of the first lower stage passage block (12A), first bypass piping (15) connecting the process gas introduction piping (14) to the fourth upper stage passage block (13A), and second bypass piping (16) connecting the first bypass piping (15) to the eighth upper stage passage block (13B). Une section d'introduction de fluides (10) comprend des premiers à nièmes blocs de passage à étage inférieur (12A, 12) disposés dans une ligne, des premiers à nièmes blocs de passage à étage supérieur (13, 13A, 13B) disposés à travers deux blocs de passage adjacents à étage inférieur (12A, 12), un tuyau d'introduction des gaz de traitement (14) connecté au port d'entrée du premier bloc de passage à étage inférieur (12A), un premier tuyau de dérivation (15) connectant le tuyau d'introduction des gaz de traitement (14) au quatrième bloc de passage à étage supérieur (13A), et un deuxième tuyau de dérivation (16) connectant le premier tuyau de dérivation (15) au huitième bloc de passage à étage supérieur (13B).