METHOD AND INSTRUMENT FOR MEASURING HIGH-FREQUENCY ELECTRIC CHARACTERISTIC OF ELECTRONIC COMPONENT, AND METHOD FOR CALIBRATING HIGH-FREQUENCY ELECTRICAL CHARACTERISTIC MEASURING INSTRUMENT

• Main Author: KAMITANI, GAKU
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 27.10.2005
• Edition: 7
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

A plurality of signal conductors (12a, 12b) and a ground conductor (12c) are connected to respective measuring ports of a network analyzer (20). At least at three points of each signal conductor (12a, 12b) specified in the longitudinal direction, a short-circuit reference (10) is connected between the signal conductors (12a, 12b) and the ground conductor (12c) and electrical characteristics are measured. A through chip (13) is connected in series between the signal conductors (12a, 12b) and electrical characteristics are measured in order to calculate an error factor of the measuring system including the transmission line. An electronic component (17) to be measured is connected between the signal conductors or between the signal conductors and the ground conductor and electrical characteristics are measured. The error factor of the measuring system is removed from the measurements of the electronic component (17), thus determining the true values of the electrical characteristics of the electronic component (17). A high-precision high-frequency electrical characteristic measuring method insusceptible to variation in connection can thereby be realized. Une pluralité de conducteurs de signaux (12a, 12b) et un conducteur de masse (12c) sont connectés à des bornes de mesure respective d'un dispositif d'analyse de réseau (20). Une référence en court-circuit (10) est connectée entre les conducteurs de signaux (12a, 12b) et le conducteur de masse (12c) au moins sur trois points de chaque conducteur de signaux (12a, 12b) spécifiés dans la direction longitudinale et les caractéristiques électriques sont mesurées. Une puce traversante (13) est branchée en série entre les conducteurs de signaux (12a, 12b) et les caractéristiques électriques sont mesurées afin de calculer un facteur d'erreur du système de mesure comprenant la ligne de transmission. Un composant électronique (17) à mesurer est connecté entre les conducteurs de signaux ou entre les conducteurs de signaux et le conducteur de masse et les caractéristiques électriques sont mesurées. Le facteur d'erreur du système de mesure est soustrait aux mesures du composant électronique (17), permettant ainsi de déterminer les vraies valeurs des caractéristiques électriques du composant électronique (17). Il est ainsi possible de réaliser un procédé de mesure de la caractéristique électrique de haute fréquence très précis n'étant pas susceptible de varier une fois la connexion établie.