SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING THE DISPLACEMENT OF A PLURALITY OF MICRO- AND NANOMECHANICAL ELEMENTS, SUCH AS MICRO-CANTILEVERS

• Main Authors: TAMAYO DE MIGUEL, FRANCISCO JAVIER, LECHUGA GOMEZ, LAURA M, ALVAREZ SANCHEZ, MAR
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 15.09.2005
• Edition: 7
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; MEASURING; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

The invention relates to a system and method for detecting the displacement, such as the deflection, of a plurality of elements (1), such as microcantilevers, forming part of an array (2), by emitting a light beam (4) towards the array (2) and by receiving a reflected light beam on an optical position detector, whereby the position of incidence of the light beam is determined by the displacement of the corresponding element. The system further comprises: scanning means (7) for displacing the light beam (4) along the array (2) so that the light beam is sequentially reflected, by the individual elements (1) along said array (2); and reflection detecting means (11) for detecting when the light beam is reflected by an element. The system is arranged so that when the reflection detecting means (11) detect that the light beam is reflected by an element, the corresponding position of incidence of the light on the detector is taken as an indication of the displacement of the element. L'invention concerne un système et une méthode pour détecter le déplacement, notamment la déflexion, d'une pluralité d'éléments (1), notamment des micropoutres, constituant un agencement (2), par l'émission d'un faisceau lumineux (4) dirigé vers l'agencement (2), et par la réception d'un faisceau lumineux réfléchi sur un détecteur de position optique, la position d'incidence du faisceau lumineux étant déterminée par le déplacement de l'élément correspondant. Le système comprend également: un moyen de balayage (7) pour déplacer le faisceau lumineux (4) le long de l'agencement (2), de sorte que le faisceau lumineux est séquentiellement réfléchi, par les éléments individuels (1), le long de cet arrangement (2); et un moyen de détection de réflexion (11) pour détecter le moment où le faisceau lumineux est réfléchi par un élément. Le système de l'invention est agencé de sorte que le moyen de détection de réflexion (11) détecte le moment où le faisceau lumineux est réfléchi par un élément, la position d'incidence correspondante de la lumière sur le détecteur étant considérée comme une indication du déplacement dudit élément.