MICRO-STRUCTURED SENSOR

• Main Authors: REICHENBACH, FRANK, HOEFER, HOLGER
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 15.09.2005
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; COLORIMETRY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; SEMICONDUCTOR DEVICES; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS; TESTING; TRANSPORTING

Die Erfindung betrifft einen mikrostrukturierten Sensor, mit mindestens: einem Mess-Chip (2), in dem ein erster Messbereich (6) mit einer ersten Messstruktur und ein zweiter Messbereich (7) mit einer zweiten Messstruktur ausgebildet ist, wobei die Messbereiche (6, 7) in einer lateralen Richtung (Y) zueinander versetzt sind, einem Kappen-Chip (4), der auf dem Mess-Chip (2) in einem Verbindungsbereich vakuumdicht befestigt ist, einem zwischen dem Mess-Chip (2) und dem Kappen-Chip (4) ausgebildeten Zwischenraum, der durch den Verbindungsbereich (3) nach aussen abgedichtet ist und in dem die Messbereiche (6, 7) angeordnet sind, und mindestens einem auf dem Mess-Chip (2) ausgebildeten, von dem Kappen-Chip (4) freigelassenen Kontaktbereich (20, 22) zur Kontaktierung des Mess-Chips (2). Der Sensor kann insbesondere ein Gassensor zum Messen einer Gaskonzentration oder ein Beschleunigungssensor sein. The invention relates to a micro-structured sensor, comprising at least one measuring chip (2), wherein a first measuring area (6), comprising a first measuring structure, and a second measuring area (7) comprising a second measuring structure, is embodied, and the measuring areas (6, 7) are offset in relation to each other in a lateral direction (Y). Said micro-structured sensor also comprises a cup chip (4) which is secured, in a connecting area and in an air-tight manner, to the measuring chip (2), an intermediate chamber which is embodied between the measuring chip (2) and the cup chip (4), said intermediate chamber being sealed from the outside by the connecting area (3) and the measuring areas (6, 7) are arranged therein, and at least one contact area (20, 22), which is used to contact the measuring chip (2), is released by the cup chip (4) and is embodied on the measuring chip. The sensor can be, in particular, a gas sensor which is used to measure gas concentration or an accleration sensor. L'invention concerne un capteur microstructuré comportant au moins une puce de mesure (2) contenant une première zone de mesure (6) présentant une première structure de mesure et une deuxième zone de mesure (7) présentant une deuxième structure de mesure, les zones de mesure (6, 7) étant décalées latéralement l'une par rapport à l'autre dans une direction latérale (Y); une puce à capot (4) fixé de manière étanche au vide sur une puce de mesure (2) dans une zone de connexion; un interstice créé entre la puce de mesure (2) et la puce à capot (4), étanché vers l'extérieur par la zone de connexion (3), contenant les zones de mesure (6, 7); et au moins une zone de contact conçue sur la zone de mesure (2), libérée par la puce à capot (4), destinée à la mise en contact de la puce de mesure (2). Ledit capteur peut notamment être un capteur de gaz destiné à mesurer une concentration de gaz ou un capteur d'accélération.