APPARATUS AND PROCESS FOR SENSING TARGET GAS SPECIES IN SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEMS

• Main Authors: CHEN, ING-SHIN, NEUNER, JEFFREY, W, CHEN, PHILIP, S., H, WELCH, JAMES, ROEDER, JEFFREY, F, DIMEO, FRANK, JR
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 11.08.2005
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

A gas detector and process for detecting a target gas species, such as a fluorine-containing species in a gas containing same, e.g., an effluent of a semiconductor processing tool undergoing etch cleaning with HF, NF3, etc. The gas detector in one aspect employs a nickel-containing filament that is sensitive to the fluorine-containing species, which can function both as a sensing component and as a heat source when elevated temperature sensing is required. The gas detector in one aspect employs an elongated gas sensor element that can be vertically mounted on a support structure. Vertical mounting of such elongated gas sensor element on the support structure significantly improves the signal strength, reduces the response time, minimizes the footprint of the gas detector, and provides structural flexibility for accommodating thermal expansion/contraction of such gas sensor element. La présente invention concerne un détecteur de gaz et un procédé pour détecter une espèce gazeuse cible, telle qu'une espèce contenant du fluor, dans un gaz contenant celle-ci, par exemple dans un effluent d'un outil de traitement de semi-conducteur soumis à un nettoyage de gravure avec HF, NF3, etc. Selon un aspect, le détecteur de gaz utilise un filament contenant du nickel, qui est sensible à l'espèce contenant du fluor et qui peut fonctionner à la fois comme composant de détection et comme source de chaleur lorsqu'une température de détection élevée est nécessaire. Selon un aspect, le détecteur de gaz utilise un élément capteur de gaz allongé qui peut être monté verticalement sur une structure de support. Le montage vertical d'un tel élément capteur de gaz allongé sur la structure de support améliore la puissance du signal, réduit le temps de réponse, minimise l'encombrement du détecteur de gaz et offre une souplesse structurelle pour permettre une dilatation/contraction thermique d'un tel élément capteur de gaz.