COMPOSITE PIEZOELECTRIC APPARATUS AND METHOD
The present invention relates to composite piezoelectric apparatus, transducers and methods of manufacture. In an embodiment, a composite piezoelectric apparatus has a sacrificial base and pillar array. Different volume percents of piezoelectric material are used in the sacrificial base and pillar a...
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Format | Patent |
Language | English French |
Published |
16.06.2005
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Edition | 7 |
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Summary: | The present invention relates to composite piezoelectric apparatus, transducers and methods of manufacture. In an embodiment, a composite piezoelectric apparatus has a sacrificial base and pillar array. Different volume percents of piezoelectric material are used in the sacrificial base and pillar array. A first volume percent in the base is lower than the second volume percent in the pillar array. In this way, the sacrificial base can be easily removed from the pillar array after the base and pillar array are sintered in the manufacture of a final composite piezoelectric transducer. A method of manufacturing a composite piezoelectric transducer from a sacrificial base and pillar array and a composite piezoelectric transducer made by the method are provided. A composite piezoelectric transducer stack is provided.
L'invention concerne des dispositifs piézo-électriques composites, des transducteurs et des procédés de fabrication. Dans un mode de réalisation, un dispositif piézo-électrique composite possède une base sacrificielle et un ensemble de piliers. On utilise différents pourcentages volumiques de matériau piézo-électrique dans cette base sacrificielle et cet ensemble de piliers. Un premier pourcentage volumique de la base est inférieur au deuxième pourcentage volumique de l'ensemble de piliers. Ceci permet de retirer sans difficultés la base sacrificielle de l'ensemble de piliers après leur frittage pour fabriquer un transducteur piézo-électrique composite fini. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un transducteur piézo-électrique composite à partir d'une base sacrificielle et d'un ensemble de piliers, ainsi qu'un transducteur piézo-électrique composite fabriqué au moyen de ce procédé. Elle concerne également un empilement de transducteurs piézo-électriques composites. |
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Bibliography: | Application Number: WO2004US39684 |