VACUUM ULTRAVIOLT RAY BONDING APPARATUS

• Main Author: ONUKI, HIDEO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 16.09.2004
• Edition: 7
• Subjects: ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; ADHESIVES; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS; CHEMISTRY; DYES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GLASS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS; METALLURGY; MINERAL OR SLAG WOOL; MISCELLANEOUS APPLICATIONS OF MATERIALS; MISCELLANEOUS COMPOSITIONS; NATURAL RESINS; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; PAINTS; POLISHES; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES

A vacuum ultraviolet bonding apparatus for adhering material alkoxide to the bonded surface of bonded substances and radiating vacuum ultraviolet on the adhered surface for bonding, comprising a vacuum ultraviolet ray source part having a light source generating vacuum ultraviolet ray, a radiation chamber radiating ultraviolet ray to two bonded substances allowing the vacuum ultraviolet ray to be transmitted therethrough, and an exhaust device forcibly exhausting the air in the vacuum ultraviolet ray source part and the radiation chamber. The vacuum ultraviolet ray source part and the radiation chamber are vacuated or nitrogen gas or rare gas is filled in the vacuum ultraviolet ray source part and the radiation chamber. Also, a partition window formed of a substance allowing the vacuum ultraviolet ray to be transmitted therethrough is provided between the vacuum ultraviolet ray source part and the radiation chamber. Thus, the highly efficient, economical, and optimum vacuum ultraviolet ray bonding apparatus can be provided by using short wavelength ultraviolet ray of 200 to 50 nm. Cette invention se rapport à un appareil de collage par ultraviolet extrême, qui sert à adhérer un matériau alcoxyde à la surface collée de substances collées et à émettre un rayonnement ultraviolet extrême sur cette surface adhérée en vue d'une opération de collage. Cet appareil comprend une partie source de rayon ultraviolet extrême, comportant une source lumineuse produisant un rayon ultraviolet extrême, une chambre de rayonnement émettant un rayon ultraviolet en direction des deux substances collées, pour permettre la transmission du rayon ultraviolet extrême à travers elles, et un dispositif d'échappement expulsant de force l'air contenu dans la partie source de rayon ultraviolet extrême et dans la chambre de rayonnement. La parie source de rayon ultraviolet extrême et la cambre de rayonnement sont mises sous vide ou remplies d'azote gazeux ou d'un gaz rare. Une fenêtre de séparation, constituée d'une substance permettant la transmission du rayon ultraviolet extrême à travers elle, est en outre prévue entre la partie source de rayon ultraviolet extrême et la chambre de rayonnement. On peut ainsi produire un appareil de collage par rayon ultraviolet extrême optimal, efficace et économique, en utilisant un rayon ultraviolet de faible longueur d'onde compris entre 200 et 50 nm.