MICRO-ELECTROMECHANICAL INDUCTIVE SWITCH

• Main Authors: FLORKEY, JOHN E, VOLANT, RICHARD, P, GROVES, ROBERT, A
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 16.09.2004
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRIC SWITCHES; ELECTRICITY; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES; INDUCTANCES; MAGNETS; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PULSE TECHNIQUE; RELAYS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES; SELECTORS; TRANSFORMERS; TRANSPORTING

A micro-electromechanical (MEM) switch capable of inductively coupling and decoupling electrical singnals is described. The inductive MEM switch consists of a first plurality of coils on a moveable platform and a second plurality of coils on a stationary platform or substrate, the coils on the moveable platform being above or below those in the stationary substrate. Coupling and decoupling occurs by rotating or by laterally displacing the coils of the moveable platform with respect to the coils on the stationary substrate. Diverse arrangements or coils respectively on the moveable and stationary substrates allow for a multi-pole and multi-position switching configurations. The MEM switches described eliminate problems of stiction, arcing and welding of the switch contacts. The MEMS switches of the invention can be fabricated using standard CMOS techniques. L'invention concerne un commutateur micro-électromécanique (MEM) pouvant coupler et découpler par induction des signaux électriques. Le commutateur MEM inductif comprend une première pluralité de bobines sur une plateforme amovible et une seconde pluralité de bobines sur une plateforme ou substrat stationnaire, les bobines de la plateforme amovible se situant au-dessus ou en dessous de celles du substrat stationnaire. Le couplage et le découplage se produit par rotation ou par déplacement latéral des bobines de la plateforme amovible par rapport aux bobines du substrat stationnaire. Divers dispositifs ou bobines situés, respectivement, sur les substrats amovible et stationnaire permettent des configurations de commutation multipolaires et à positions multiples. Les commutateurs MEM de l'invention éliminent les problèmes de blocage par adhérence, de production d'étincelles et de soudage des contacts du commutateur. Les commutateurs MEM de l'invention peuvent être fabriqués à l'aide de techniques CMOS standard.