OPTICAL PATH DIFFERENCE SCANNING INTERFEROMETER

• Main Author: ABBINK, RUSSELL, E
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 23.09.2004
• Edition: 7
• Subjects: COLORIMETRY; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; TESTING

Embodiments of the present invention provide a beamsplitter (106), mounted with first and second reflective elements (110, 112). An OPD element (114) mounts relative to the other elements such that an optical path (120) in the interferometer passes through the OPD element. The OPD element can be, for example, a plate comprising a refractive material mounted such that the thickness of the refractive material encountered by the optical path through the OPD element is variable. Various arrangements of components are described, and methods of constructing and methods of aligning such interferometers are also described. La présente invention concerne porte sur un interféromètre de conception améliorée. Dans certains modes de réalisation, l'invention porte sur un diviseur de faisceau monté avec des premiers et des seconds éléments réfléchissants. Un élément à différence de longueur du chemin optique (OPD) est monté de telle sorte par rapport aux autres éléments qu'un chemin optique traverse l'élément OPD dans l'interféromètre. L'élément OPD peut être constitué, notamment, par une plaque comprenant un matériau réfractif monté de telle sorte que l'épaisseur dudit matériau réfractif rencontré par le chemin optique traversant l'élément est variable. Sont également décrits divers agencements de composants, ainsi que des procédés de construction et des méthodes d'alignement de tels interféromètres.