CAPACITIVE SENSOR

• Main Authors: AGAYA, TOMOHIRO, MORIMOTO, HIDEO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 22.07.2004
• Edition: 7
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

Capacitor electrodes (E1-E5) and a grounded reference electrode (E0) are formed on a substrate (20). A displacement electrode (40) that displaces in the Z-axis direction as a sensing member (30) operated from outside moves in the Z-axis direction is disposed in the position opposed to these electrodes (E5-E0). The displacement electrode (40) constitutes capacitors (C0-C5) with the capacitor electrodes (E1-E5) and the reference electrode (E0), respectively. Each of the capacitors (C1-C5) is series-connected to the capacitor (C0) with respect to a signal inputted from outside. Change in the capacitance values of the capacitors (C1-C5) when the sensing member (30) moves are detected by a signal processing circuit having a hysteresis characteristic, so that the displacement of the sensing member (30) is recognized. L'invention concerne un capteur capacitif comprenant des électrodes capacitives (E1-E5) et une électrode de référence (E0) à la masse formées sur un substrat (20). Ce capteur comprend également une électrode mobile (40) pouvant se déplacer suivant l'axe z, servant d'élément de détection (30), commandée de l'extérieur et disposée face aux électrodes (E5-E0). Cette électrode mobile (40) forme des condensateurs (C0-C5) avec les électrodes capacitives (E1-E5) et l'électrode de référence (E0), respectivement. Chacun des condensateurs (C1-C5) est connecté en série au condensateur (C0) par rapport à un signal provenant de l'extérieur. Lorsque l'élément de détection (30) se déplace, un circuit de traitement de signal possédant une caractéristique d'hystérésis détecte les variations de capacité des condensateurs (C1-C5), ce qui permet de détecter un déplacement de l'élément de détection (30).