CAPACITOR OVER PLUG STRUCTURE

• Main Authors: NAGEL, NICOLAS, YABUKI, MOTO, TSUCHIYA, TAKAMICHI, BEITEL, GERHARD, MOON, BUM-KI, HILLIGER, ANDREAS
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 01.04.2004
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A capacitor over plug (COP) structure is disclosed. The COP avoids the step which is created in conventional COP structures, which adversely impacts the properties of the capacitor. In one embodiment, the step is avoided by providing a plug having upper and lower portions. The upper portion, which is coupled to the bottom electrode of the capacitor, has substantially the same surface area as the bottom electrode. A barrier layer can be provided between the plug and bottom electrode to avoid oxidation of the plug material. L'invention concerne une structure de condensateur sur fiche permettant d'éliminer le décrochement habituellement créé dans des structures de condensateur sur fiche, affectant les propriétés du condensateur. Dans un mode de réalisation, le décrochement est éliminé par création d'une fiche présentant des parties supérieure et inférieure. La partie supérieure couplée à l'électrode de base du condensateur présente essentiellement la même zone de surface que l'électrode de base. Une couche barrière peut être créée entre la fiche et l'électrode de base afin d'éviter que le matériau de la fiche ne s'oxyde.