OPTICAL MEASURING METHOD AND DEVICE THEREFOR

• Main Authors: MATSUMURA, JUNICHI, HAYASHI, MUTSUMI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 15.01.2004
• Edition: 7
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

An optical measuring device comprising a front surface measurement data holding section (7) for creating and holding two-dimensional optical measurement data corresponding to the front surface of a transparent measurement object (1) by applying a line beam to the surface of the object (1) at a predetermined angle, receiving the front surface light and back surface light generated at the front and back surfaces of the object (1) by means of a front surface light sensor (5) and a back surface light sensor (6), respectively, and receiving the output signal from the front surface light sensor (5) and operation information on a support mechanism, a back surface measurement data holding section (8) for creating and holding two-dimensional optical measurement data corresponding to the back surface of the object (1) by receiving the output signal from the back surface light sensor (6) and operation information on the support mechanism, and a front/back data creating/holding section (9) for creating and holding front surface data and back surface data on the object (1) by receiving both the front surface two-dimensional optical measurement data and the back surface two-dimensional optical measurement data and conducting front/back judgment. Without increasing the time required for scanning, the accuracy of detection of a foreign matter on the surface to be detected is enhanced, and the state of the back surface as well as that of the front surface can be detected. La présente invention concerne un dispositif de mesure optique comprenant : une section (7) de conservation de données de mesure de surface avant qui permet de créer et conserver des données de mesure optique bidimensionnelles correspondant à la surface avant d'un objet de mesure transparent (1) en appliquant un faisceau linéaire à la surface de l'objet (1) selon un angle prédéterminé, un capteur de lumière de surface avant (5) et un capteur de lumière de surface arrière (6) recevant, respectivement, la lumière de la surface avant et la lumière de la surface arrière produites sur les surfaces avant et arrière de l'objet (1), et un mécanisme de support recevant le signal de sortie en provenance du capteur de lumière de surface avant (5) et des informations relatives au fonctionnement ; une section (8) de conservation de données de mesure de surface arrière qui permet de créer et conserver des données de mesure optique bidimensionnelles correspondant à la surface arrière de l'objet (1) en recevant le signal de sortie en provenance du capteur de lumière de surface arrière (6) et des informations relatives au fonctionnement sur le mécanisme de support ; et une section (9) de création et conservation de données de surface avant et arrière qui permet de créer et conserver des données de surface avant et des données de surface arrière de l'objet (1) en recevant les données de mesure optique bidimensionnelles de surface avant et les données de mesure optique bidimensionnelles de surface arrière et en procédant à un jugement avant et arrière. L'invention permet, sans augmenter le temps de balayage, d'améliorer l'exactitude de la détection d'une matière étrangère sur la surface soumise à la détection et de détecter tant l'état de la surface arrière que celui de la surface avant.