CONFOCAL MICROSCOPE AND METHOD FOR MEASURING BY CONFOCAL MICROSCOPE

• Main Authors: FUJIMOTO, HIROHISA, KITAHARA, AKIHIRO, KITA, NOBUHIRO, WATANABE, HIDEO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 24.12.2003
• Edition: 7
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; TESTING

A confocal microscope and a method for measuring by confocal microscope in which one or a plurality of measuring units for detecting a moving amount is disposed oppositely to a Z stage for mounting a sample, maximum value of a variation curve represented by light intensity information and a relative position imparting it are estimated based on relative positional information obtained by detecting the relative position of the condensing position of an objective lens and the sample by means of the measuring unit, and a plurality of pieces of light intensity information including a maximum light intensity value, and then a confocal image is created using the maximum light intensity value and the relative position thus estimated as reflection luminance information and height information. L'invention concerne un microscope confocal et un procédé permettant de réaliser des mesures au moyen de ce microscope confocal. Une ou plusieurs unités de mesure permettant de détecter une quantité de déplacement sont installées en face d'une platine Z servant au montage d'un échantillon; une valeur maximum d'une courbe de variation représentée par des informations relatives à l'intensité lumineuse et une position relative permettant cette intensité sont évaluées en fonction des informations de position relative obtenues par détection de la position relative de la position de condensation d'un objectif et de l'échantillon, au moyen de l'unité de mesure, et d'une multitude d'éléments d'information concernant l'intensité lumineuse. Ensuite, une image confocale est créée à l'aide de la valeur d'intensité lumineuse maximum et de la position relative évaluée en tant qu'informations de luminance et informations de hauteur de la réverbération.