POINT DIFFRACTION INTERFEROMETER USING INCLINED-SECTION OPTICAL FIBER LIGHT SOURCE AND ITS MEASURING METHOD

• Main Authors: KIM, HAG-YONG, KIM, SEUNG-WOO
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 27.11.2003
• Edition: 7
• Subjects: ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PHYSICS; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING

Disclosed is a point diffraction interferometer for analyzing the surface profile of an object in a predetermined shape. The present invention relates to a phase-shifting point diffraction interferometer using inclined-section optical fiber light source, which is capable of minimizing a system error by directly using spherical waves emitted from a point beam source as a reference wavefront to move an error caused by a reference surface. L'invention concerne un interféromètre à diffraction de points, utilisé pour analyser la surface d'un objet de forme prédéterminée. Ladite invention concerne un interféromètre à diffraction de points déphaseur, qui fait appel à une source lumineuse à fibre optique à section inclinée, apte à minimiser une erreur système par utilisation directe d'ondes sphériques émises depuis une source d'un faisceau de points comme front d'ondes de référence pour déplacer une erreur due à une surface de référence.