PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

• Main Authors: INAMURA, HIROSHI, YAMAURA, SYUNSUKE, NAGAMI, KIMIHIKO, KOBAYASHI, CHIAKI, MORIFUJI, TOGO, SUMI, DAISUKE, ENDO, MASAKI, HIURA, SAYAKA, YOSHIDA, KOJI, YAMAUCHI, TAKAO, TAKETA, KAORU
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 09.10.2003
• Edition: 7
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; HANDLING RECORD CARRIERS; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PRESENTATION OF DATA; RECOGNITION OF DATA; RECORD CARRIERS; TESTING; TRANSPORTING

A pressure sensor comprising a plurality of sensor parts arranged in matrix. A first electrode being connected with first wiring and a second electrode being connected with second wiring are disposed oppositely through a cavity part in the sensor part. The second electrode bends to the first electrode side in response to a pressure from a specimen and touches the first electrode upon application of a pressure of a specified level or above. When the specimen is pressed against a pressure detecting region, both electrodes touch each other at a sensor part corresponding to a protrusion of the specimen and are separated at a sensor part corresponding to a recess. When a scanning signal is fed from a scanning circuit to one wiring and presence of a signal flowing through the second wiring is detected by a sensing circuit, a pressure being applied to each sensor part can be detected. Furthermore, the shape is detected by feeding the scanning signal from the scanning circuit to each first wiring sequentially and scanning the pressure detecting region generally. L'invention concerne un capteur de pression comprenant plusieurs parties de capteur disposées en matrice. Une première électrode connectée à un premier câblage et une seconde électrode connectée à un second câblage sont placées en face l'une de l'autre à travers une partie cavité située dans une partie de capteur. La seconde électrode se plie vers la première électrode en réponse à une pression d'un élément d'essai et touche la première électrode lorsqu'une pression supérieure ou égale à un niveau spécifique est appliquée. Lorsque l'élément d'essai est appuyé contre une région de détection de la pression, les deux électrodes se touchent au niveau d'une partie de capteur correspondant à une partie en saillie de l'élément d'essai et sont séparées au niveau d'une partie de capteur correspondant à un évidement. Lorsqu'un signal de balayage est amené d'un circuit de balayage vers un câblage et que la présence d'un signal passant à travers le second câblage est détectée par un circuit de détection, une pression appliquée sur chaque partie de capteur peut être détectée. En outre, la forme est détectée par production d'un signal de balayage du circuit de balayage vers chaque premier câblage de manière séquentielle, et par balayage de la région de détection de la pression en général.