SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE AND ELECTRONIC COMPONENT COMPRISING IT

• Main Authors: KUROTAKE, HIROSHI, YAMASHITA, KIYOHARU, FURUKAWA, MITSUHIRO, NISHIDA, KAZUSHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 17.04.2003
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

A surface acoustic wave device in which the interval between electrodes is enlarged by partially cutting the common part and the strip part of the electrode of a reflector. Since the effect of the quantity of electrostatic charges generated at the time of etching a thin metallic film and unbalance in the quantity of electrostatic charges is suppressed, dullness can be eliminated from the shape of the electrode and propagation loss of the surface acoustic wave device can be reduced. L'invention concerne un dispositif à onde acoustique de surface dans lequel l'intervalle entre électrodes est agrandi par découpe partielle de la partie commune et de la partie dénudée de l'électrode d'un réflecteur. Cela permet de supprimer à la fois l'effet produit par la quantité de charges électrostatiques engendrées au moment de l'attaque d'un film métallique fin et le déséquilibre de la quantité de charges électrostatiques. On peut ainsi éviter tout émoussement dans la forme de l'électrode et réduire l'affaiblissement de propagation du dispositif proprement dit.