SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD

• Main Author: SHUKURI, SHOJI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.04.2003
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A semiconductor integrated circuit device has a column array comprising semiconductor columns and insulator columns arranged alternately in one direction nonvolatile storage elements provided in the semiconductor columns, respectively, wherein the side face of the semiconductor column in the one direction is provided with a control gate electrode with a gate insulation film in between, the top face of the semiconductor column a drain region, and the bottom face of the semiconductor column a source region and a wiring which includes the control gate electrodes of the nonvolatile storage elements and is provided in the one direction on the side face of the column array in the one direction L'invention concerne un dispositif de circuit intégré à semi-conducteur doté d'un réseau de colonnes comprenant des colonnes semi-conductrices et des colonnes d'isolation agencées en alternance dans un même sens; des éléments de stockage non volatiles placés respectivement dans les colonnes semi-conductrices, la face latérale desdites colonnes semi-conductrices agencées dans le sens précité étant pourvue d'une électrode de grille de commande, et un film d'isolation de grille étant placé entre la face supérieure d'une région de drain desdites colonnes et la face inférieure d'une région source de ces mêmes colonnes; et un câblage comprenant les électrodes de grille de commande des éléments de stockage non volatiles et agencé dans un sens sur la face latérale du réseau de colonnes.