TREATING AGENT FOR EXHAUST GAS CONTAINING METAL HYDRIDE, PROCESS FOR PRODUCING THE SAME, AND METHOD OF TREATING EXHAUST GAS CONTAINING METAL HYDRIDE

• Main Authors: TAKACHI, MINORU, TESHIGAWARA, SATOSHI, MATSUDA, YOSHIHIRO, TOMIYAMA, YOSHIYUKI, SHIBANO, HIDETAKA
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 09.01.2003
• Edition: 7
• Subjects: CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; SEPARATION; THEIR RELEVANT APPARATUS; TRANSPORTING

A treating agent having the excellent ability to make a metal hydride−containing exhaust gas harmless; a process for producing the treating agent; and a method of treating the gas. The treating agent comprises a mixture of copper hydroxide or basic copper carbonate with a silicon compound or a mixture of the copper compound with the silicon compound in which part of the two compounds form a composite. It is prepared from an aqueous solution of a copper salt as a mother liquor by a precipitation method in which an aqueous solution of a mixture of an alkali hydroxide or alkali carbonate with an alkali silicate is used as a precipitant. The treating agent obtained by the process has the high ability to make a metal hydride gas harmless and is lowly exothermic. It is hence useful for the treatment of a metal hydride−containing exhaust gas which generates in semiconductor production, etc. L'invention concerne un agent de traitement capable de rendre inoffensif un gaz d'échappement à hydrure métallique, un procédé de production de l'agent de traitement, et un procédé de traitement du gaz. L'agent de traitement comprend un mélange d'hydroxyde de cuivre ou de carbonate de cuivre de base et d'un composé de silicium, ou un mélange fait du composé de cuivre et du composé de silicium dans lequel une partie des deux composés forme un composite. Il est préparé à partir d'une solution aqueuse de sel de cuivre comme liqueur mère par un procédé de précipitation dans lequel la solution aqueuse d'un mélange d'hydroxyde d'alcali ou de carbonate d'alcali et d'un silicate d'alcali est utilisée comme précipitant. L'agent de traitement obtenu par ce procédé est capable de rendre inoffensif un gaz à hydrure métallique, et est faiblement exothermique. Il est par conséquent utile dans le traitement d'un gaz d'échappement à hydrure métallique généré dans la production de semi-conducteurs, etc.