SURFACE ACOUSTIC WAVE FILTER

• Main Authors: KAWASAKI, TETSUO, NAKANISHI, HIDEKAZU, SAKURAGAWA, TORU, YOKOTA, YASUHIKO, TAKAYAMA, RYOICHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 02.05.2002
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

In a surface acoustic wave (SAW) filter having a substrate and electrodes formed on the substrate, an electrode has a base layer, a first metal layer made of Al or an Al-based metal and oriented in a constant direction to the substrate, a second metal layer which prevents Al atoms of the first metal layer from migrating vertically to the substrate, and a third metal layer for adjusting the film thickness. Thus, a SAW filter having an arbitrary film thickness enables the simultaneous attainment of a film quality of difficulty in grain boundary diffusion and micronization of the grain diameter of a film effective in stress resistance. Therefore, the SAW filter blocks the migration of Al atoms of the electrode due to a stress loaded on the electrode with the propagation of the SAW, so that the filter becomes excellent in power resistance. Dans un filtre à ondes acoustiques de surface (SAW) pourvu d'un substrat et d'électrodes formées sur le substrat, une électrode a une couche de base, une première couche métallique constituée d'aluminium ou d'un métal à base d'aluminium et orientée dans une direction constante par rapport au substrat, une seconde couche métallique qui empêche des atomes d'aluminium de ladite première couche de migrer verticalement en direction du substrat, et une troisième couche métallique d'ajustement de l'épaisseur du film. Ainsi, un filtre SAW d'une épaisseur de film arbitraire permet l'obtention simultanée d'une qualité de film présentant des difficultés au niveau de la diffusion du contour des grains, et d'une micronisation du diamètre des grains d'un film efficace sur le plan de la résistance aux contraintes. Ainsi, le filtre SAW bloque la migration des atomes d'aluminium de l'électrode en raison d'une contrainte appliquée à l'électrode avec la propagation de l'onde acoustique de surface, de telle manière que le filtre devient très efficace en matière de résistance à l'énergie.