ELIMINATING SPRINGBACK IN EUV LITHOGRAPHY MIRRORS

• Main Authors: MEDA, GUATAM, BOWDEN, BRADLEY, F, DAVIS, CLAUDE, L., JR, HRDINA, KENNETH, E
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 25.04.2002
• Edition: 7
• Subjects: CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS; CHEMISTRY; GLASS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS; MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES; METALLURGY; MINERAL OR SLAG WOOL; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS; SURFACE TREATMENT OF GLASS

A method for manufacturing an extreme ultraviolet lithography mirror for use in includes machining a bottom face of a mirror blank (10), polishing a top face of the mirror blank (41) to produce a polished mirror, and cutting a piece (44) from the polished mirror. Another method for manufacturing an extreme ultraviolet lithography mirror for use in includes annealing a faceplate (51) to a honeycomb core (52), polishing the faceplate (51) to produce a polished mirror, and cutting a piece from the polished mirror. L'invention concerne un procédé de réalisation d'un miroir de gravure par ultraviolet extrême, qui comprend les étapes consistant à usiner une surface inférieure d'une ébauche de miroir (41), polir une surface supérieure de l'ébauche de miroir (41) pour obtenir un miroir poli, et découper un morceau (44) de ce miroir poli. Un autre procédé de réalisation d'un miroir à ultraviolet extrême comprend les étapes consistant à lier une plaque faciale (51) à un noyau en nid-d'abeilles (52), polir ladite plaque faciale (51) pour produire un miroir poli, et découper un morceau de ce miroir poli.