METHOD AND APPARATUS FOR EVALUATING INTEGRATED CIRCUIT PACKAGES HAVING THREE DIMENSIONAL FEATURES

The present invention provides for methods and apparatus for evaluating objects having three dimensional features. One method involve using both two dimensional data sets to improve the processing of three dimensional data sets. The two dimensional data set can be used to pre-qualify the three dimen...

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Main Authors SCARPINE, VICTOR, LEONARD, PATRICK, F, EVANS, FRANK
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 11.04.2002
Edition7
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Summary:The present invention provides for methods and apparatus for evaluating objects having three dimensional features. One method involve using both two dimensional data sets to improve the processing of three dimensional data sets. The two dimensional data set can be used to pre-qualify the three dimensional data set, or may be used to locate that data within the three dimensional data set which is characteristic of the three dimensional feature. The invention may include a sensor which is configured to capture both three dimensional and two dimensional data. The present invention provides for an efficient technique to evaluate three dimensional data. The present invention also solves heretofore unrecognized problems associated with geometric distortion. La présente invention concerne un procédé et un dispositif d'évaluation d'objets présentant des caractéristiques tridimensionnelles. Selon un mode de réalisation, part de deux jeux de données bidimensionnelles pour améliorer le traitement de jeux de données tridimensionnelles. Le jeu de données bidimensionnelles convient pour une pré-qualification du jeu de données tridimensionnelles, mais il convient également à la localisation des données à l'intérieur du jeu de données tridimensionnelles qui est caractéristique de la caractéristique tridimensionnelle. L'invention peut inclure un détecteur configuré de façon à capturer les jeux de données bidimensionnelles comme tridimensionnelles. Il en résulte que l'invention convient de façon particulièrement adaptée à l'évaluation de données tridimensionnelles. En outre, l'invention permet de résoudre des problèmes non encore décelés concernant les distorsions géométriques.
Bibliography:Application Number: WO2001US41293