METHOD FOR PLASMA DEPOSITION OF POLYMER COATINGS

• Main Authors: VAVILIN, KONSTANTIN V, KRALKINA, ELENA A, KONDRANIN, SERGEI G, BUGROV, GLEB E, PAVLOV, VLADIMIR B
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 12.12.2002
• Edition: 7
• Subjects: APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL; PERFORMING OPERATIONS; PROCESSES FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL; SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; TRANSPORTING

The method of plasma deposition of polymer coatings involves locating a sample to be treated in a discharge volume, filling a discharge chamber (1) by means of a working gas supply system (2) with a reactive gas containing at least one plasma polymerizable gas-monomer, and plasma generation in the discharge volume through the ignition and maintaining of a pulsed-periodic gas discharge with a periodically repeated sequence of pulses. During plasma polymerization of the gas-monomer, a polymer coating is deposited onto the surface of the sample. To do that, a pulsed-periodic discharge is used with the total current variation time of a separate pulse within the range of from 10-7 s to 10-1 s. The time interval between separate pulses in each sequence of pulses is selected within the range of from 10-5 s to 10-2 s. The invention allows the efficiency of plasma polymerization process to be increased and continuous processing to be enabled. Le procédé de dépôt au plasma de revêtements polymères consiste à localiser un échantillon à traiter dans un volume à décharges, à remplir une chambre à décharges (1) au moyen d'un système d'acheminement de gaz de travail (2) avec un gaz réactif contenant au moins un monomère de gaz polymérisable au plasma, et à générer un plasma dans le volume à décharges par l'allumage et le maintien d'une décharge à gaz pulsé, avec une séquence d'impulsions périodiquement répétée. Pendant la polymérisation du plasma du monomère de gaz, un revêtement polymère est déposé à la surface de l'échantillon. Pour ce faire, on utilise une décharge à impulsions périodiquement répétées dont le temps global de variation de courant d'une impulsion isolée est compris entre 10-7 s et 10-1 s. L'intervalle temporelle entre deux impulsions isolées dans chaque séquence d'impulsions est compris entre environ 10-5 s et 10-2 s. L'invention permet d'augmenter l'efficacité du processus de polymérisation au plasma et de mettre en oeuvre un traitement continu.