ELECTRONIC MICROSCOPE OBSERVATION SYSTEM AND OBSERVATION METHOD

• Main Author: TODOKORO, HIDEO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 31.01.2002
• Edition: 7
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

An electronic microscope observation system and observation method, which reduce an initial investment of an operator, require no device maintenance, and prepare samples easily and accurately. The system comprises an electronic microscope (4), an observation center (1)-side image display device (6), a transmission line (13) for transmitting image signals, and an operation center (2)-side image display device (7), wherein the two image display devices display an observation reservation/approval screen, a sample processed by the observation center side is mounted based on an instruction given by the operation center, the sample is observed based on sample observation condition information to display observation images on the two image display devices, and at the same time a charge processing is performed based on an observation content levels including sample processing and total hours used by the electronic microscope to display the result of charging. L'invention concerne un système d'observation au microscope électronique et une technique d'observation permettant de réduire l'investissement initial d'un opérateur, ne nécessitant aucun entretien du dispositif et permettant de préparer des échantillons facilement et de manière précise. Le système comprend un microscope électronique (4), un dispositif d'affichage d'images latérales (6) d'un centre d'observation (1), une ligne de transmission (13) servant à transmettre des signaux d'images et un dispositif d'affichage d'images latérales (7) d'un centre d'opération (2), les deux dispositifs d'affichage d'images affichant un écran de réservation/approbation de l'observation, un échantillon traité par le centre d'observation étant monté en fonction d'instructions données par le centre d'observation, l'échantillon étant observé en fonction d'informations relatives à l'état d'observation de l'échantillon, en vue d'afficher des images d'observation sur les deux dispositifs d'affichage d'images et enfin un traitement de charge étant effectué en fonction des teneurs du contenu d'observation, notamment un traitement de l'échantillon et du total des heures nécessaires au microspore électronique pour afficher le résultat de la charge.