NOVEL STRAIN FOR DECOMPOSING TMAH, AND METHOD OF WASTEWATER TREATMENT USING THE SAME

• Main Authors: CHOI, HO-JOON, YUM, DO-YOUNG, KOO, BON-TAG, SHIN, CHUL-SOO, LEE, MI-KYOUNG, YUN, JEONG-HWAN, LEE, JUNG-KI, LEE, DAESANG, PARK, KEE-DON, KANG, KEY-JUNG
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 31.01.2002
• Edition: 7
• Subjects: CHEMISTRY; METALLURGY; TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE

The present invention describes a wastewater treatment method by a microorganism decomposing Tetramethyl Ammonium Hydroxide (TMAH) which, utilized in etching the surface of silicone chip in semiconductor manufacturing process, is toxic and hard to decomposed. The present invention provides novel microorganisms capable of decomposing TMAH. Also, the present invention provides a treatment methdo for wasterwater containing TMAH, using the microorganisms. The present invention is useful in industrial field as an environmental friendly wastewaster treatment method by decomposing over 90 % of TMAH, one of environmental contamimation materials in the wastewater of semiconductor factory. La présente invention concerne un procédé de traitement des eaux usées par un micro-organisme décomposant l'hydroxyde d'ammonium de tétraméthyle (TMAH) qui, utilisé lors de l'attaque chimique de la surface d'une puce en silicones au cours d'un processus de fabrication de semi-conducteur, est toxique et difficile à décomposer. Cette invention concerne des nouveaux micro-organismes qui peuvent décomposer l'hydroxyde d'ammonium de tétraméthyle, ainsi qu'un procédé de traitement d'eaux usées contenant du TMAH au moyen desdits micro-organismes. Le procédé de cette invention est utile dans le domaine industriel en tant que procédé de traitement des eaux usées non nuisible à l'environnement, ledit procédé consistant à décomposer plus de 90 % de TMAH, l'un des produits de contamination écologique présent dans les eaux usées d'une usine de semi-conducteurs.