MICROSCALE MASS SPECTROMETRIC CHEMICAL-GAS SENSOR

• Main Authors: BERGER, PHILIP, S, GENTRY, W., RONALD
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 15.11.2001
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; DATA PROCESSING SYSTEMS OR METHODS, SPECIALLY ADAPTED FORADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL, SUPERVISORYOR FORECASTING PURPOSES; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE,COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL, SUPERVISORY OR FORECASTINGPURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; TESTING; TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHICCOMMUNICATION

A mass sensor (10) includes a magnet assembly (12) and a mass analyzer (14). The mass analyzer includes a ceramic housing formed from two end plates and a center portion. The mass analyzer further includes a thermionic electron emitter ionizer, a double focusing mass spectrometer having superimposed orthogonal magnetic and electric fields, and a microchannel plate ion detector located in the housing cavity. The double focusing mass spectrometer includes an electric sector energy analyzer having a film resistor deposited on an inside surface of each end plate. The film resistors are substantially concentric and congruent and have a circular arc shape. Boundary electrodes are positioned adjacent each curved edge of each film resistor. The mass sensor includes a non-evaporable getter mounted inside the housing cavity and external electrical contacts are arranged to form a multi-layer printed circuit card that is installable in a circuit card edge connector. L'invention concerne un capteur de masse (10) comprenant un ensemble aimant (12) et un analyseur de masse (14). Cet analyseur de masse comprend un boîtier céramique constitué de deux plaques d'extrémité et d'une partie centrale. Ledit analyseur de masse comprend également une source d'ions thermionique à émission d'électrons, un spectromètre de masse à double focalisation comprenant des champs électriques et magnétiques orthogonaux superposés, ainsi qu'un détecteur d'ions à galette de microcanaux situé dans la cavité dudit boîtier. Le spectromètre de masse à double focalisation comprend un analyseur d'énergie de secteur électrique comportant une résistance à couche déposée sur une surface intérieure de chaque plaque d'extrémité. Les résistances à couche sont sensiblement concentriques et congruentes, et présentent une forme arquée circulaire. Des électrodes de limite sont situées au voisinage de chaque bord courbé de chaque résistance à couche. Le capteur de masse comprend un getter non évaporable situé à l'intérieur de la cavité du boîtier ainsi que des éléments de contact électriques extérieurs agencés de manière à former une carte à circuit imprimé multicouche pouvant être montée dans un connecteur latéral de carte à circuit imprimé.