SCANNING ELECTRON MICROSCOPE

• Main Authors: TODOKORO, HIDEO, SUZUKI, NAOMASA, EZUMI, MAKOTO, OSE, YOICHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 11.10.2001
• Edition: 7
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; MEASURING; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

A scanning electron microscope with an energy filter which can positively utilize secondary electrons and/or reflected electrons which collide against a mesh electrode and are lost. The scanning electron microscope which has a porous electrode for producing an electric field for energy-filtering electrons produced by applying a primary electron beam to a sample and a 1st electron detector which detects electrons passing through the porous electrode is characterized by further having a porous structure provided near the sample, a deflector which deflects electrons from the axis of the primary electron beam, and a 2nd electron detector which detects the electrons deflected by the deflector. Microscope électronique à balayage doté d'un filtre d'énergie pouvant utiliser positivement des électrons secondaires et/ou des électrons réfléchis qui entrent en collision avec une grille à mailles et qui sont perdus. Ledit microscope possède une électrode poreuse destinée à produire un champ électrique pour filtrer par énergie des électrons produits par application d'un faisceau électronique primaire sur un échantillon et un premier détecteur d'électrons qui détecte les électrons passant à travers l'électrode poreuse. Ledit microscope est caractérisé en ce qu'il possède en outre une structure poreuse située à proximité de l'échantillon, un déflecteur qui dévie les électrons de l'axe du faisceau électronique primaire, et un second détecteur d'électrons qui détecte les électrons déviés par le déflecteur.