ANALYZER/OBSERVER

• Main Authors: IBE, HIDEFUMI, YAMAGUCHI, HIRONARU, YAMAGAMI, NAOKI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 07.06.2001
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

A sample stage (1) disposed in a vacuum vessel is provided with scales (S(1)-S(N)), and the actual distance of movement of the sample stage is monitored by observing the scales through a dedicated optical system through which the scales can be seen in the field of view. A foreign matter of an object analyzed or observed through a first analyzer/observer can be placed in the field of view of a second analyzer/observer, and a sample can be delivered quickly and automatically when the foreign matter on a sample is analyzed/observed by means of a plurality of analyzers/observers. Une platine à échantillons (1) disposée dans une enceinte à vide est pourvue de graduations (S(1)-S(N)), et la longueur réelle du déplacement de la platine à échantillons est contrôlée grâce à l'observation des graduations au moyen d'un système optique spécialisé au moyen duquel les graduations peuvent être aperçues dans le champ de vision. Un corps étranger d'un objet analysé ou observé au moyen d'un premier dispositif d'analyse/observation peut être placé dans le champ de vision d'un second analyseur/observateur, et un échantillon peut être délivré rapidement et automatiquement lorsque le corps étranger sur un échantillon est analysé/observé au moyen d'une pluralité de dispositifs d'analyse/observation.