COMBUSTOR FOR EXHAUST GAS TREATMENT

• Main Authors: TAKEMURA, YOSHIRO, NISHIKAWA, TADAKAZU, SHIRAO, YUJI, YAMADA, HIROYUKI, KAWAMURA, KOTARO, NAKAMURA, RIKIYA, TSUJI, TAKESHI, OKUDA, KAZUTAKA, ISHIKAWA, KEIICHI, MUROGA, YASUTAKA, OHASHI, TOMONORI, KOMAI, TETSUO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 10.05.2001
• Edition: 7
• Subjects: AIR SUPPLY; BLASTING; CASINGS, LININGS, WALLS OR DOORS SPECIALLY ADAPTED FORCOMBUSTION CHAMBERS, e.g. FIREBRIDGES; COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION; CREMATION FURNACES; DETAILS OF COMBUSTION CHAMBERS, NOT OTHERWISE PROVIDEDFOR; DEVICES FOR DEFLECTING AIR, FLAMES OR COMBUSTION PRODUCTS INCOMBUSTION CHAMBERS; DRAUGHT-INDUCING; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; SAFETY ARRANGEMENTS SPECIALLY ADAPTED FOR COMBUSTIONAPPARATUS; SUPPLYING NON-COMBUSTIBLE LIQUID OR GAS; WEAPONS

A combust or for combustion type exhaust gas treatment device capable of simultaneously decomposing, at a high decomposition ratio, exhaust gases from a semi-conductor manufacturing device, particularly, a deposit gas containing SiH4 and a halogen gas, capable of making it difficult for SiO2 powder to adhere or deposit thereon, capable of realizing a low NOx combustion, and also capable of assuring safety, wherein a flame holding chamber (15) is provided which is open toward a combustion chamber (11), surrounded by a peripheral wall (12), and closed by a plate body (14) on the side opposite to the combustion chamber, exhaust gases, combustion improver, and air are introduced into the flame holding chamber (15) and then mixed with each other, and the mixed gas is injected toward the combustion chamber (11) vertically relative to the plate body (14). Cette invention se rapporte à un appareil de combustion pour un dispositif de traitement de gaz d'émission du type à combustion, qui est capable de décomposer simultanément, à une vitesse de décomposition élevée, les gaz d'émission provenant d'un dispositif de fabrication de semi-conducteurs, notamment les gaz de dépôt contenant du SiH4 et un gaz halogène, qui est capable de rendre difficile l'adhésion ou le dépôt de poudre de SiO2 sur ledit dispositif, qui est capable de réaliser une combustion à faible émission de NOx et qui est également capable d'en assurer la sécurité. A cet effet, on prévoit une chambre (15) de confinement des flammes, qui est ouverte en direction d'une chambre de combustion (11), entourée par une paroi périphérique (12) et fermée par un corps à plaque (14) sur le côté opposé à la chambre de combustion; les gaz d'émission, un agent d'amélioration de la combustion et de l'air sont introduits dans cette chambre (15) de confinement des flammes et mélangés ensuite les uns aux autres; et le gaz mélangé est injecté dans la chambre de combustion (11) verticalement par rapport au corps à plaque (14).