METHOD FOR DETECTING ABNORMAL FLOW RATE FOR PRESSURE FLOW RATE CONTROLLER

A method for detecting abnormal flow rate by easily detecting an obstruction of an orifice while a fluid pressure flow rate controller using an orifice is controlling the flow rate. The method uses a flow rate controller (FCS) so as to calculate the flow rate Qc on the downstream side when the upstr...

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Main Authors KAGATSUME, SATOSHI, NISHINO, KOUJI, DOHI, RYOUSUKE, HIROSE, JUN, FUKASAWA, KAZUO, UNO, TOMIO, IDETA, EIJI, IIDA, SEIICHI, KOIZUMI, HIROSHI, NAGAOKA, HIDEKI, IKEDA, NOBUKAZU, OHMI, TADAHIRO
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 22.02.2001
Edition7
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Summary:A method for detecting abnormal flow rate by easily detecting an obstruction of an orifice while a fluid pressure flow rate controller using an orifice is controlling the flow rate. The method uses a flow rate controller (FCS) so as to calculate the flow rate Qc on the downstream side when the upstream-side pressure P1 is maintained at a value about twice or more the downstream-side pressure P2 from Qc=KP1 (K: constant) and to control the operation of a control valve (CV) according to a signal Qy representing the difference between the calculated flow rate Qc and a preset flow rate Qs. A testing circuit or flow rate setting circuit provided separately outputs a testing signal DELTA Qs having a testing amplitude V0 to the control valve (CV). The pressure amplitude V of a pressure variation DELTA P1 of the upstream-side pressure P1 occurring in response to the opening/closing of the control valve (CV) is measured. When the pressure amplitude V decreases below a limit amplitude Vt, the obstruction of the orifice is announced, thus implementing the method. If the testing signal DELTA Qs is superimposed on a steady-state preset flow rate signal Qs0 and outputted together from the testing circuit or the flow rate setting circuit to the control valve (CV), an abnormal flow rate can be detected while controlling the flow rate by using the steady-state preset flow rate signal Qs0. L'invention concerne un procédé de détection de débit anormal consistant à détecter facilement l'obstruction d'un orifice tandis qu'un régulateur de débit de fluide sous pression utilisant un orifice régule ledit débit. Ledit procédé fait appel à un régulateur de débit (FCS) permettant le calcul du débit (Qc) du côté aval lorsque la pression côté amont P1 est maintenue à une valeur correspondant à au moins deux fois la pression côté aval P2, à partir de la relation Qc = KP1 (K: constante), et commandant le fonctionnement d'une soupape de régulation (CV) en fonction d'un signal Qy représentant la différence entre le débit calculé Qc et un débit préréglé Qs. Un circuit de contrôle ou un circuit de réglage de débit monté séparément envoie un signal de contrôle DELTA Qs d'une amplitude de contrôle V0 à la soupape de régulation (CV). L'amplitude de pression V d'une variation de pression DELTA P1 de la pression côté amont P1 apparaissant en réaction à l'ouverture/fermeture de la soupape de régulation (CV) est mesurée. Lorsque la valeur de l'amplitude de pression V passe en-dessous d'une valeur d'amplitude limite Vt, l'obstruction de l'orifice est annoncée et le procédé est ainsi mis en oeuvre. Si le signal de contrôle DELTA Qs est superposé à un signal de débit préréglé à l'état stationnaire Qs0 et que ces deux signaux sont émis ensemble par le circuit de contrôle ou par le circuit de réglage de débit et envoyés à la soupape de régulation (CV), un débit anormal peut être détecté, le débit étant régulé par le signal de débit préréglé à l'état stationnaire Qs0.
Bibliography:Application Number: WO2000JP05043