METHOD AND APPARATUS FOR DISPOSING OF FLUORINE-CONTAINING COMPOUND BY DECOMPOSITION

A method which comprises contacting a fluorine-containing compound such as C2F6, CF4, CHF3, SF6, NF3 or the like with a catalyst for the decomposition of a fluorine-containing compound together with a catalyst for the decomposition of at least one of CO, SO2F2 and N2O in the presence of water and op...

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Main Authors IRIE, KAZUYOSHI, TAMATA, SHIN, YAMASHITA, HISAO, KANNO, SHUICHI, HONJI, AKIO, AZUHATA, SHIGERU
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 14.12.2000
Edition7
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Summary:A method which comprises contacting a fluorine-containing compound such as C2F6, CF4, CHF3, SF6, NF3 or the like with a catalyst for the decomposition of a fluorine-containing compound together with a catalyst for the decomposition of at least one of CO, SO2F2 and N2O in the presence of water and optionally oxygen. A catalyst for the decomposition of at least one of CO, SO2F2 and N2O preferably comprises at least one of Pd, Pt, Cu, Mn, Fe, Co, Rh, Ir and Au in the form of metal or oxide. By the treatment according to the method, a fluorine atom in a fluorine-containing compound can be converted to HF, which is easily absorbed by water or an aqueous alkaline solution, and substances formed by the decomposition of a fluorine-containing compound, such as CO, SO2F2 and N2O, can also be decomposed. L'invention concerne un procédé qui consiste à placer un composé fluoré, tel que C2F6, CF4, CHF3, SF6, NF3 ou analogue, au contact d'un catalyseur pour décomposer ledit composé fluoré, et au contact d'un catalyseur pour décomposer au moins l'un quelconque de CO, SO2F2 et N2O en présence d'eau et éventuellement d'oxygène. Un catalyseur destiné à décomposer au moins l'un quelconque de CO, SO2F2 et N2O comprend, de préférence, au moins l'un quelconque de Pd, Pt, Cu, Mn, Fe, Co, Rh, Ir et Au sous forme de métal ou d'oxyde. Selon le procédé de l'invention, un atome de fluor contenu dans un composé fluoré peut être converti en HF, lequel est facilement absorbé par l'eau ou une solution alcaline aqueuse; et des substances obtenues par la décomposition d'un composé fluoré, tel que CO, SO2F2 ou N2O, peuvent également être décomposées.
Bibliography:Application Number: WO1999JP03074