MANIFOLD SYSTEM OF REMOVABLE COMPONENTS FOR DISTRIBUTION OF FLUIDS

A manifold system for enabling a distribution of fluids includes a plurality of individual manifold blocks (4) that can be joined together to form a gas stick. Each manifold block will have a fluid passage way with an entrance port (6) and exit port (8) accessing a common surface (38). An active com...

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Main Authors VU, KIM, N, SHERIFF, DAVID, P, REDEMANN, ERIC, J
Format Patent
LanguageEnglish
French
Published 05.07.2001
Edition7
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Summary:A manifold system for enabling a distribution of fluids includes a plurality of individual manifold blocks (4) that can be joined together to form a gas stick. Each manifold block will have a fluid passage way with an entrance port (6) and exit port (8) accessing a common surface (38). An active component can be mounted to one manifold block, while extending across a port of an adjacent manifold block. An alignment system can be provided to ensure that the entrance and exit ports are positioned in a plane containing the common surface to facilitate sealing. La présente invention concerne un système de rampe de distribution de fluides constitué d'une pluralité de blocs de rampe pouvant se réunir pour constituer une lance à gaz. Chaque bloc de rampe doit comporter normalement un passage pour fluide défini par un orifice d'entrée et un orifice de sortie débouchant sur une surface commune. Un composant actif peut être monté sur l'un des blocs de rampe tout en pénétrant dans un orifice d'un bloc de rampe adjacent. On peut disposer d'un système de présentation garantissant que les orifices d'entrée et de sortie sont placés dans un plan contenant la surface commune de façon à favoriser la constitution d'une jonction étanche.
Bibliography:Application Number: WO1999US15272