作業用保護具

【物品用途】;本設計的物品係在具有直立式爐的基板處理裝置中，用於覆蓋在進行爐內的維護時被降下的爐內零件上，在保護爐內零件的同時，也能夠執行在頂板上的作業之作業用保護具。;【設計說明】;在「立體圖」中，所顯示的細線是用來表現立體表面的形狀。...

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Main Author KAGAYA, TORU
Format Patent
LanguageChinese
Published 01.06.2022
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Summary:【物品用途】;本設計的物品係在具有直立式爐的基板處理裝置中，用於覆蓋在進行爐內的維護時被降下的爐內零件上，在保護爐內零件的同時，也能夠執行在頂板上的作業之作業用保護具。;【設計說明】;在「立體圖」中，所顯示的細線是用來表現立體表面的形狀。
Bibliography:Application Number: TW20210303813F