基板處理裝置用隔熱具

【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用隔熱具，主要是在基板處理裝置中，在用來加熱處理液或處理氣體的配管的周圍，連同加熱源之帶狀加熱器安裝在一起使用的隔熱具。;【設計說明】;如「表示各部名稱之參考圖」所示，是以魔鬼氈進行對配管的固定。而且是藉由條狀的加熱器容器，將條狀加熱器固定於該隔熱具的其中一面(安裝於配管時成為內側的面)的構造。本物品的全長為3950mm，從正視圖右端起以150mm的單位形成三個可分別切離使用的單位，剩餘的3500mm是將兩個魔鬼氈與一個加熱器容器當作一個組合，該組合係連續反覆地形成。;圖式中各視圖中所表示的細線，用來表示立體表面的特定形狀。;圖式中省略的部分長度為306...

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Main Authors TATENO, HIDETO, HARA, DAISUKE
Format Patent
LanguageChinese
Published 21.05.2016
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Summary:【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用隔熱具，主要是在基板處理裝置中，在用來加熱處理液或處理氣體的配管的周圍，連同加熱源之帶狀加熱器安裝在一起使用的隔熱具。;【設計說明】;如「表示各部名稱之參考圖」所示，是以魔鬼氈進行對配管的固定。而且是藉由條狀的加熱器容器，將條狀加熱器固定於該隔熱具的其中一面(安裝於配管時成為內側的面)的構造。本物品的全長為3950mm，從正視圖右端起以150mm的單位形成三個可分別切離使用的單位，剩餘的3500mm是將兩個魔鬼氈與一個加熱器容器當作一個組合，該組合係連續反覆地形成。;圖式中各視圖中所表示的細線，用來表示立體表面的特定形狀。;圖式中省略的部分長度為3060mm。
Bibliography:Application Number: TW20150304614F