基板處理裝置用氣化器之部分

【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用氣化器，在處理晶圓之基板處理裝置中，使處理液氣化的氣化器，是以石英製作。;【設計說明】;本設計的物品，如使用狀態參考圖所示，是配置在支撐基板的晶舟上；再者，本物品所主張設計的部分，是以突出部(實線部分)表示；比該突出部更下側，是插入到形成在晶舟之上部的孔；藉由突出部，將氣化器保持在所希望的位置；而且，當晶舟移動時，可防止氣化器的位置偏移或脫落。;後視圖與前視圖相同，後視圖省略。;右側視圖與左側視圖相對稱，右側視圖省略。;圖式中以實線所示為「主張設計之部分」，以虛線所示為「不主張設計之部分」。...

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Main Authors OKUNO, MASAHISA, TATENO, HIDETO, HARA, DAISUKE, JODA, TAKUYA
Format Patent
LanguageChinese
Published 11.08.2015
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Summary:【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用氣化器，在處理晶圓之基板處理裝置中，使處理液氣化的氣化器，是以石英製作。;【設計說明】;本設計的物品，如使用狀態參考圖所示，是配置在支撐基板的晶舟上；再者，本物品所主張設計的部分，是以突出部(實線部分)表示；比該突出部更下側，是插入到形成在晶舟之上部的孔；藉由突出部，將氣化器保持在所希望的位置；而且，當晶舟移動時，可防止氣化器的位置偏移或脫落。;後視圖與前視圖相同，後視圖省略。;右側視圖與左側視圖相對稱，右側視圖省略。;圖式中以實線所示為「主張設計之部分」，以虛線所示為「不主張設計之部分」。
Bibliography:Application Number: TW20140300031F