DEVICE FOR EXCITING DISCHARGE IN PULSED ELECTRIC-EROSION PLASMA GENERATOR

• Main Authors: ZELENKOVSKIJ EH.M, PEREKATOV JU.A, SELIFANOV O.V, TOCHITSKIJ EH.I
• Format: Patent
• Language: English; Russian
• Published: 30.06.1994
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

FIELD: electric engineering. SUBSTANCE: device for exciting discharge in a pulsed electric-erosion plasma generator has an annular insulator circumscribing a cylindrical cathode of generator near its working end-face. The annular insulator has a surface facing the same side as the cathode working end-face with is provided with a thin-film current conductor being in local contact with the cathode. The discharge exciting device furthermore has an annular ignitor electrode being in contact with the thin-film current conductor and a mechanism for moving the insulator including an insulator holder and a cylindrical bushing rotatable around its axis provided with a roller coupled with the bushing through a spring-loaded member and interacting with the insulator holder to press the insulator to the cathode side surface; spherical or free bearing one of the races of which is aligned with the cathode and is fixed and the other is movable. The insulator holder is mounted on the bearing movable race in aligned relationship and is connected to the ignitor electrode. The discharge exciting device can be used in vacuum heavy - current electric discharge plants for vacuum-plasma application of thin films and coatings. EFFECT: enhanced reliability and prolonged service life. 1 dwg Устройство для возбуждения разряда в импульсном генераторе электроэрозионной плазмы относится к области электротехники. Цель изобретения - повышение надежности устройства и увеличение срока службы. Устройство для возбуждения разряда в импульсном генераторе электроэрозионной плазмы, содержащее охватывающий цилиндрический катод генератора вблизи его рабочего торца, кольцевой изолятор, поверхность которого, обращенная в одну сторону с рабочим торцом катода, снабжена тонкопленочным токопроводом, имеющим локальный контакт с катодом, кольцевой поджигающий электрод, контактирующий с тонкопленочным токопроводом, и механизм перемещения изолятора, включающий держатель изолятора и расположенную коаксиально катоду, выполненную с возможностью вращения относительно своей оси цилиндрическую втулку, снабженную связанным с ней посредством пружинящего элемента роликом, взаимодействующим с держателем изолятора и обеспечивающим прижим изолятора к боковой поверхности катода, оснащено сферическим или шарнирным подшипником, одно из колец которого установлено соосно с катодом и закреплено, а держатель изолятора смонтирован на подвижном кольце подшипника соосно с ним и соединен с поджигающим электродом. Устройство может быть использовано в вакуумных сильноточных электроразрядных устройствах технологического назначения, например, для вакуумно-плазменного нанесения тонких пленок и покрытий. 1 ил.