METHOD TO RECEIVE BORON ION PLASMA

• Main Authors: NIKOLAEV ALEKSEJ GENNAD'EVICH, OKS EFIM MIKHAJLOVICH, JUSHKOV GEORGIJ JUR'EVICH, VIZIR' ALEKSEJ VADIMOVICH, OSTANIN ALEKSANDR GENNAD'EVICH
• Format: Patent
• Language: English; Russian
• Published: 10.05.2015
• Subjects: ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS

FIELD: electricity.SUBSTANCE: method includes generation of boron ion plasma in pulse high-current magnetron discharge, which parameters are sufficient to implement sputtering of boron target and are as follows: current of 10-50A, voltage of 1-2kV, pulse duration of 10-100 mcs. Initiation of pulse high-current magnetron discharge is made by ignition of permanent low-current magnetron discharge with current up to 50mA, voltage up to 2kV and heating by this discharge of the solid boron target heat-insulated with conductive material up to temperature of 400-500°C, when sharp increase of specific conductivity of boron takes place up to values sufficient for stable burning of pulse high-current magnetron discharge.EFFECT: increased content of boron ions in plasma.2 cl, 2 dwg Изобретение относится к области плазменной техники и может быть использовано в полупроводниковой и других отраслях промышленности, где необходима модификация поверхностей материалов. Способ включает генерацию плазмы ионов бора в импульсном сильноточном магнетронном разряде, параметры которого достаточны для реализации режима самораспыления мишени из бора и составляют: ток 10-50 А, напряжение 1-2 кВ, длительность импульса - 10-100 мкс. Инициирование импульсного сильноточного магнетронного разряда осуществляется путем зажигания постоянного слаботочного магнетронного разряда с током до 50 мА, напряжением до 2 кВ и нагрева этим разрядом теплоизолированной электропроводящим материалом мишени из твердотельного бора до температуры уровня 400-500°C, при которой происходит резкое увеличение удельной проводимости бора до значений, достаточных для стабильного горения импульсного сильноточного магнетронного разряда. Технический результат - повышение содержания в плазме ионов бора до 95-98%. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.