SENSOR AND SYSTEM FOR MEASURING ELECTRON BEAM
FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: invention relates to a sensor (10) for measuring intensity of an electron beam, formed by an electron beam generator along a path in the direction of a target, lying in the region of the target, where the electron beam is excited by the generator through an output window...
Saved in:
Main Authors | , , , , , |
---|---|
Format | Patent |
Language | English Russian |
Published |
10.06.2011
|
Subjects | |
Online Access | Get full text |
Cover
Loading…
Summary: | FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: invention relates to a sensor (10) for measuring intensity of an electron beam, formed by an electron beam generator along a path in the direction of a target, lying in the region of the target, where the electron beam is excited by the generator through an output window (24). The sensor (10) is characterised by that it has at least one region (26) of at least one conducting layer (28) lying in the said path and connected to a current sensor, and also by that the said regions (26) of at least one conducting layer (28) are essentially shielded from each other, from the surrounding medium and from the output window (24) by a screen (32), which is formed at the output window (24). The invention also relates to a system containing said sensor. ^ EFFECT: design of a sensor for measuring an electron beam, for which there is no need for additional space and which can be an integral part of the electron output window. ^ 19 cl, 7 dwg
Изобретение касается датчика (10) для измерения интенсивности электронного луча, формируемого генератором электронного луча вдоль траектории в направлении мишени, находящейся в области мишени, причем электронный луч возбуждается генератором через выходное окно (24). Датчик (10) характеризуется тем, что содержит, по меньшей мере, одну область (26), по меньшей мере, одного проводящего слоя (28), расположенную на указанной траектории и подсоединенную к детектору тока, а также тем, что указанные области (26), по меньшей мере, одного проводящего слоя (28) по существу экранированы друг от друга, от окружающей среды и от выходного окна (24) экраном (32), который сформирован на выходном окне (24). Изобретение также относится к системе, содержащей указанный датчик. Технический результат - создание датчика для измерения электронного луча, для которого не требуется дополнительного пространства и который может являться интегрированной частью (т.е. выполненной за одно целое) выходного окна электрона. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 7 ил. |
---|---|
Bibliography: | Application Number: RU20090100927 |