METHOD OF CONTROLLING METAL COATING QUALITY

• Main Authors: AREFEV VJACHESLAV VIKTOROVICH, ARKHIPOV ALEKSEJ VLADIMIROVICH, SHOPIN GENNADIJ PAVLOVICH, TUKMAKOV KONSTANTIN NIKOLAEVICH
• Format: Patent
• Language: English; Russian
• Published: 27.02.2010
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: invention relates to microelectronics and serves to control quality of metal coating electronic devices during their manufacture. The method of controlling quality of metal coating electronic devices used a test structure made in form of a metal coating track. Direct current is passed through the track. The thermal profile of the track is scanned by moving a thermal detector. Coordinates of points with maximum temperature are determined and temperature derivative values on the length of the conductor are calculated for each point. Exploitation time until electrodiffusion failure is determined from the derivative value, and the sign of the derivative determines the origin and type electrodiffusion defects related to depletion and accumulation of conductor material. ^ EFFECT: method improves quality of diagnosing electrodiffusion defects of metal coating electronic devices. ^ 5 dwg Изобретение относится к микроэлектронике и служит для контроля качества металлизации электронных приборов в процессе их производства. Способ позволяет повысить качество диагностики электродиффузионных дефектов металлизации электронных приборов. Сущность изобретения: в способе контроля качества металлизации электронных приборов используют тестовую структуру, выполненную в виде дорожки металлизации, при этом через нее пропускают постоянный ток, перемещая термодатчик, сканируют термический профиль дорожки металлизации, определяют координаты точек, имеющих максимум температуры, для каждой из которых рассчитывают значения производных температуры по длине проводника , по величине производной судят о времени наработки до электродиффузионного отказа, а по знаку производной определяют места возникновения и тип электродиффузионных дефектов, связанных с истощением и накоплением материала проводника. 5 ил.