TARGET, MEANT FOR EVAPORATION UNDER EFFECT OF ELECTRON BEAM, METHOD OF MAKING SAID TARGET, HEAT BARRIER AND COATING MADE FROM SAID TARGET AND MECHANICAL COMPONENT WITH SUCH COATING
FIELD: chemistry. ^ SUBSTANCE: invention relates to a composite target in form of a rod, made from ceramic powder and meant for evaporation under the effect of an electron beam, containing zirconium dioxide and at least one zirconium dioxide stabiliser. The stabiliser used is at least one element fr...
Saved in:
Main Authors | , , , , |
---|---|
Format | Patent |
Language | English Russian |
Published |
20.10.2009
|
Subjects | |
Online Access | Get full text |
Cover
Loading…
Summary: | FIELD: chemistry. ^ SUBSTANCE: invention relates to a composite target in form of a rod, made from ceramic powder and meant for evaporation under the effect of an electron beam, containing zirconium dioxide and at least one zirconium dioxide stabiliser. The stabiliser used is at least one element from a group of oxides of rare-earth elements, titanium oxide and niobium oxide. The target is distinguished by that, the said zirconium dioxide stabiliser is contained in molar concentration of 2-30%, and the said zirconium dioxide is 90% more than the formed monoclinic phase. The target has density of 3.9 g/cm3, average diametre pores d50 less than 2mcm and porosity ranging from 30 to 50%. The target is used when making a heat barrier with low heat conduction and high thermal resistance and mechanical strength from ceramics, formed through evaporation under the effect of an electron beam. ^ EFFECT: obtaining a target with optimum mechanical properties and heat resistance. ^ 16 cl, 3 ex
Изобретение относится к композитной мишени в форме стержня, образованной из керамических порошков и предназначенной для испарения под действием электронного луча, содержащей диоксид циркония и по меньшей мере один стабилизатор диоксида циркония. В качестве стабилизатора используют по меньшей мере один элемент из группы оксидов редкоземельных элементов, оксида тантала и оксида ниобия. Мишень отличается тем, что указанный стабилизатор диоксида циркония содержится в молярной концентрации от 2 до 30%, а указанный диоксид циркония более чем на 90% образован моноклинной фазой, при этом она имеет плотность менее 3,9 г/см3, средний диаметр пор d50 менее 2 мкм и пористость от 30 до 50%. Мишень применяется при получении теплового барьера с низкой теплопроводностью и высокими термическим сопротивлением и механической прочностью из керамики, образующейся путем испарения под действием электронного луча. Технический результат изобретения - получение мишени с оптимальными механическими свойствами и термостойкостью. 5 н. и 11 з.п. ф-лы. |
---|---|
Bibliography: | Application Number: RU20040129632 |