APA (7th ed.) Citation

JACOB, W., WENYI, X., HOLGER, S., MANSOUR, M., CHARLES, D., RAVINDRA, K., . . . MARTIN, M. (2024). 할로겐화제로서 공반응물을 이용하는 금속의 원자층 에칭.

Chicago Style (17th ed.) Citation

JACOB, WOODRUFF, XIE WENYI, SAARE HOLGER, MOINPOUR MANSOUR, DEZELAH CHARLES, KANJOLIA RAVINDRA, PARSONS GREGORY, and MCBRIARTY MARTIN. 할로겐화제로서 공반응물을 이용하는 금속의 원자층 에칭. 2024.

MLA (9th ed.) Citation

JACOB, WOODRUFF, et al. 할로겐화제로서 공반응물을 이용하는 금속의 원자층 에칭. 2024.