SUBSTRATE CARRIER HAVING INSTALLATION STRUCTURE FOR GAS DIFFUSER

내부에 웨이퍼 저장 공간을 형성하는 쉘; 및 쉘의 내벽과 일체로 형성되고 적어도 하나의 가스 디퓨저를 고정하도록 구성된 적어도 하나의 설치 구조물을 포함하여, 상기 적어도 하나의 가스 디퓨저가 로봇 암의 전방 단부의 작동 범위 외부에 배치될 수 있게 하는 기판 캐리어가 제공된다. 기판 캐리어의 설치 구조물이 구조적으로 단순화될 뿐만 아니라 가스 디퓨저가 로봇 암과의 간섭이 방지될 수 있다. Provided is a substrate carrier including: a shell defining therein a wafer stor...

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Main Authors LYU JYUN MING, SHEN EN NIEN, CHIU MING CHIEN, LEE KUO HUA, CHUANG CHIA HO
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 24.09.2024
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:내부에 웨이퍼 저장 공간을 형성하는 쉘; 및 쉘의 내벽과 일체로 형성되고 적어도 하나의 가스 디퓨저를 고정하도록 구성된 적어도 하나의 설치 구조물을 포함하여, 상기 적어도 하나의 가스 디퓨저가 로봇 암의 전방 단부의 작동 범위 외부에 배치될 수 있게 하는 기판 캐리어가 제공된다. 기판 캐리어의 설치 구조물이 구조적으로 단순화될 뿐만 아니라 가스 디퓨저가 로봇 암과의 간섭이 방지될 수 있다. Provided is a substrate carrier including: a shell defining therein a wafer storage space; and at least one installation structure integrally formed with an inner wall of the shell and adapted to hold at least one gas diffuser, allowing the at least one gas diffuser to be disposed outside an operating range of a front end of a robotic arm. Not only is the installation structure of the substrate carrier structurally simplified, but the gas diffuser is also prevented from interfering with the robotic arm.
Bibliography:Application Number: KR20240030629