HYDROGEN DETECTING SENSOR AND ITS MANUFACTURING METHOD

• Main Authors: LEE SOON CHUL, HWANG SANG IL, JEON JAE SEON, LEE SOUN JONG, KO KYOUNG HOON, EOM JU HEUNG, JEONG KYUNG MIN, KIM DONG HYEON, JUNG JIN WOO, KIM NAM YUN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 04.09.2024
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

수소 검출 센서가 개시된다. 수소 검출 센서는 기판, 상기 기판 상에 형성되어 발열하는 온도 보상층, 상기 온도 보상층 상면에 형성된 반도체 물질층, 및 상기 반도체 물질층을 피복하여 외부 물질의 투과를 방지하는 절연 보호막층을 포함하여, 온도 변화에 따른 전기 저항을 측정하는 온도 보상 소자, 및 상기 절연 보호막층의 상부에 형성되어 상기 절연 보호막층에 의해 상기 온도 보상 소자와 절연 분리되고, 수소 흡착에 의해 전기 저항이 가역적으로 변하는 촉매 금속과 전이금속의 금속 결합물질로 이루어진 금속 결합층이 2이상 적층된 구조를 갖는 수소 감지층을 포함하여, 수소 농도에 따른 전기 저항을 측정하는 수소 센싱 소자를 포함할 수 있다.