타겟의 신속 광학 검사를 위하여 시스템에 구현된 광학 시스템

• Main Authors: HUISMAN SIMON REINALD, GOORDEN SEBASTIANUS ADRIANUS, ROUX STEPHEN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 23.08.2024
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

시스템은 광학 디바이스들, 반사 디바이스들, 가동 반사 디바이스 및 검출기를 포함한다. 광학 디바이스들은 제1 평면에 그리고 시스템의 축 주위에 배치되며 타겟으로부터의 산란 방사선을 받아들인다. 반사 디바이스들은 적어도 제2 평면에 그리고 축 주위에 배치된다. 반사 디바이스들의 각각은 광학 디바이스들 중 대응하는 하나의 광학 디바이스로부터의 산란 방사선을 받아들인다. 가동 반사 디바이스는 축을 따라 배치되며, 반사 디바이스들의 각각으로부터의 산란 방사선을 받아들인다. 검출기는 가동 반사 디바이스로부터의 산란 방사선을 받아들인다. A...