플라즈마 헤드 및 플라즈마 발생 장치

플라즈마 헤드는, 플라즈마화 되는 프로세스 가스를 도통하는 통 모양의 본체와, 본체에 수용되고, 프로세스 가스의 일부에 방전하여 플라즈마 가스로 하는 한 벌의 전극과, 본체의 내부에 도입되어 한 벌의 전극에 공급되는 프로세스 가스를 나선류로 하는 복수의 정류판을 가지는 정류 부재를 구비한다. This plasma head is equipped with: a cylindrical main body through which a processing gas to be made into plasma travels; a pair of elec...

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Main Authors SANO HIROKI, IKEDO TOSHIYUKI, IWATA TAKUYA
Format Patent
LanguageKorean
Published 19.08.2024
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
PLASMA TECHNIQUE
PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS
PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS
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Summary:플라즈마 헤드는, 플라즈마화 되는 프로세스 가스를 도통하는 통 모양의 본체와, 본체에 수용되고, 프로세스 가스의 일부에 방전하여 플라즈마 가스로 하는 한 벌의 전극과, 본체의 내부에 도입되어 한 벌의 전극에 공급되는 프로세스 가스를 나선류로 하는 복수의 정류판을 가지는 정류 부재를 구비한다. This plasma head is equipped with: a cylindrical main body through which a processing gas to be made into plasma travels; a pair of electrodes which are stored in the main body, and form a plasma gas by discharging electricity into some of the processing gas; and a rectifier member which has a plurality of rectifier plates which convert the flow of the processing gas, which is introduced into the interior of the main body and supplied to the pair of electrodes, into a helical flow.
Bibliography:Application Number: KR20247026828